热学微系统技术
基本信息
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本书围绕热科学前沿领域内近年来发展迅速的微系统技术,集中阐述一些典型微器件的基本原理及研究方法,并剖析了相应主题上若干可供探索的途径和新方向。全书注重推进微热学方法在若干高新技术领域中的独特应用。
本书可供热科学、物理、电子、机械、器件、材料、化工、生物技术与医学工程等领域的研究人员、工程师以及大专院校有关专业师生阅读参考。
本书可供热科学、物理、电子、机械、器件、材料、化工、生物技术与医学工程等领域的研究人员、工程师以及大专院校有关专业师生阅读参考。
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序
前言
第1章 绪论
1.1 导言
1.2 常规热学微系统技术的研究范畴
1.3 微/纳尺度生物热学技术的研究范畴
1.4 热学微系统技术的国内外研究态势
1.5 微尺度生物热学研究的国内外态势
1.6 热学微系统技术的发展前景展望
1.7 生物热学微系统技术的发展前景展望
1.8 小结
参考文献
第2章 微/纳米器件的热学与流体加工技术
2.1 导言
2.2 mems加工技术发展概况
2.3 自上而下及自下而上的微/纳米加工方式
2.4 mems热加工技术
2.5 传统硅材料微加工技术中的热学问题
2.6 微尺度光刻技术中的热学控制问题
2.7 mems粉末沉积热加工技术
前言
第1章 绪论
1.1 导言
1.2 常规热学微系统技术的研究范畴
1.3 微/纳尺度生物热学技术的研究范畴
1.4 热学微系统技术的国内外研究态势
1.5 微尺度生物热学研究的国内外态势
1.6 热学微系统技术的发展前景展望
1.7 生物热学微系统技术的发展前景展望
1.8 小结
参考文献
第2章 微/纳米器件的热学与流体加工技术
2.1 导言
2.2 mems加工技术发展概况
2.3 自上而下及自下而上的微/纳米加工方式
2.4 mems热加工技术
2.5 传统硅材料微加工技术中的热学问题
2.6 微尺度光刻技术中的热学控制问题
2.7 mems粉末沉积热加工技术







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