基本信息
内容简介
本书内容主要包括离子束注入技术、离子束增强沉积技术、磁过滤离子束沉积技术、全方位离子注入技术、强脉冲离子束材料改性技术和离子束创建新型制膜工程等，着重给出了这些离子束技术的最新研究成果及其在工业上的广泛应用情况。本书内容系统全面，实用性强。
本书可供表面工程技术人员技术人员参考，也可供相关专业在校师生以及研究人员参考。
本书可供表面工程技术人员技术人员参考，也可供相关专业在校师生以及研究人员参考。
目录
前言
第1章 离子束表面工程技术概述
1.1 离子束表面工程技术原理
1.2 离子束注入的特点和局限性
1.3 离子束表面工程技术的发展概况
第2章 离子束注入技术
2.1 离子束注入技术简介
2.2 非金属离子注入
2.3 金属离子注入
2.4 离子注入wc合金钢
2.5 离子注入改善tin和tic沉积膜特性
2.6 长程离子注入
2.7 双注入
2.8 共注入
2.9 离子注入材料的性能改善
2.10 离子注入工业应用
第3章 离子束增强沉积技术
3.1 简介
3.2 金属膜的制备和特性
3.3 超硬陶瓷膜
第1章 离子束表面工程技术概述
1.1 离子束表面工程技术原理
1.2 离子束注入的特点和局限性
1.3 离子束表面工程技术的发展概况
第2章 离子束注入技术
2.1 离子束注入技术简介
2.2 非金属离子注入
2.3 金属离子注入
2.4 离子注入wc合金钢
2.5 离子注入改善tin和tic沉积膜特性
2.6 长程离子注入
2.7 双注入
2.8 共注入
2.9 离子注入材料的性能改善
2.10 离子注入工业应用
第3章 离子束增强沉积技术
3.1 简介
3.2 金属膜的制备和特性
3.3 超硬陶瓷膜
