金刚石薄膜沉积制备工艺与应用
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这是一本较全面的叙述金刚石薄膜沉积制备技术与应用的书。本书从金刚石薄膜的优异性能和应用前景出发，阐述了各种沉积薄膜的制备方法；论述了金刚石薄膜的非平衡热力学和金刚石膜生长的动力学因素；较详尽地探讨了能大面积沉积金刚石膜的热丝装置和当今沉积速率最高的等离子射流装置的一些关键技术和成膜工艺；同时介绍了性能接近金刚石膜、易实现产业化、应用前景看好的类金刚石膜的制备工艺、性能和应用。最后展望了金刚石膜未来的发展前景，指出金刚石膜必将成为21世纪有影响的功能薄膜材料。.
本书可供从事材料科学与工程的研究人员，有关的工程技术人员，特别是从事金刚石薄膜的科技工作者阅读；也可供材料专业高年级学生、研究生从事金刚石薄膜研究时参考。...
本书可供从事材料科学与工程的研究人员，有关的工程技术人员，特别是从事金刚石薄膜的科技工作者阅读；也可供材料专业高年级学生、研究生从事金刚石薄膜研究时参考。...
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第1章 概论.
1．1 金刚石薄膜的优异性能及其应用前景
1．2 金刚石膜的表征方法
1．3 金刚石薄膜的沉积方法
1．3．1 化学气相沉积(cvd)法
1．3．2 等离子体化学气相沉积(pcvd)法
1．3．3 火焰燃烧法
1．3．4 物理气相沉积(pvd)法
1．3．5 化学气相输运法
1．3．6 粒子束沉积法
1．3．7 激光化学气相沉积(lecvd)法
1．4 影响金刚石薄膜生长的主要因素
1．4．1 衬底(基片)材料
1．4．2 基片的预处理
1．4．3 温度
1．4．4 气源和氢的特殊作用
1．4．5 工作炉压
第2章 金刚石膜沉积的非平衡热力学与形成机理
2．1 概述
2．2 非平衡热力学耦合模型
1．1 金刚石薄膜的优异性能及其应用前景
1．2 金刚石膜的表征方法
1．3 金刚石薄膜的沉积方法
1．3．1 化学气相沉积(cvd)法
1．3．2 等离子体化学气相沉积(pcvd)法
1．3．3 火焰燃烧法
1．3．4 物理气相沉积(pvd)法
1．3．5 化学气相输运法
1．3．6 粒子束沉积法
1．3．7 激光化学气相沉积(lecvd)法
1．4 影响金刚石薄膜生长的主要因素
1．4．1 衬底(基片)材料
1．4．2 基片的预处理
1．4．3 温度
1．4．4 气源和氢的特殊作用
1．4．5 工作炉压
第2章 金刚石膜沉积的非平衡热力学与形成机理
2．1 概述
2．2 非平衡热力学耦合模型
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20世纪80年代中期以来，低压气相沉积金刚石薄膜新技术，在全球逐步掀起研究热潮。这是由于金刚石薄膜具有一系列优异性能，主要是它具有十分接近天然金刚石的硬度、高的弹性模量、低的摩擦系数、极高的热导率和高的室温电阻率、极好的绝缘性能和化学稳定性、很高的电子和空穴迁移率，并在很宽的光波段范围内透明，与Ge，Si，CaAs等半导体材料相比，它又有较宽的禁带宽度，有可能是Ge，Si，CaAs之后新一代的半导体功能薄膜材料；同时它又具有极好的抗酸、抗碱、抗各种腐蚀性气体侵蚀的性能，是优良的耐蚀材料。这些集力学、电学、热学、声学、光学、耐蚀等优异性能于一身的金刚石薄膜是一种难得的功能薄膜材料，它在微电子、光电子、生物医学、机械、航空航天、核能等高新技术领域中可望具有极佳的应用前景，吸引了众多跨学科的科技工作者，备受产业界、商界的关注与重视。近20年来，金刚石薄膜技术取得了令人瞩目的进展。.
等离子技术、激光束技术、电子束技术、微波等技术的最新成果与实用化，对金刚石薄膜成膜质量的提高和制备技术的发展起到了极大的新的推动作用，对加快金刚石薄膜产业化的进程和开拓广泛的应用提供了有力的技术支撑。
尽管金刚石薄膜取得了令人瞩目的进展，但仍然缺少有关全面概述金刚石薄膜制备技术的参考书，以供工程师和技术人员参考。本书收集了有关的国内外学者、科研人员的相关研究成果和我们近15年来在金刚石薄膜、类金刚石薄膜方面的研究进展与开拓应用的实例，希望能弥补这方面的不足。
本书从金刚石薄膜的优异性能和广泛的应用前景出发，阐述了各种金刚石薄膜的化学气相沉积制备方法、金刚石薄膜的非平衡热力学和金刚石薄膜生长的动力学因素，对大面积沉积金刚石薄膜的热丝装置和当今沉积速率最高的等离子射流装置与成膜工艺进行了较详尽的探讨。与此同时，对性能接近金刚石，产业化易实现，成本低廉，应用前景看好的类金刚石薄膜的性能、制备方法、应用等也进行了探讨。我们相信，作为21世纪新型功能薄膜材料的金刚石薄膜，随着研究工作与应用开拓的不断深入，在不远的将来，金刚石薄膜的功能必将在各个重要的领域，特别是高新技术领域中产生重要影响。..
全书的总体章节题目由戴达煌、周克崧提出总体设想，第1、2章由戴达煌、周克崧负责编著，第3、4章由戴达煌负责编著，第5章由代明江、周克崧负责编著，第6章由袁镇海、付志强、戴达煌负责编著，第7章由周克崧、戴达煌、王翔负责编著。全书由周克崧、戴达煌、王翔三人负
责审校，王翔负责校订、绘图等工作。
书中引用了一些国内外学者和科技工作者的论文与成果，在这里我们表示衷心的感谢。在编写过程中，编者们得到了广州有色金属研究院领导的关怀与帮助，同行的热情鼓励与支持，他们提供了不少参考资料和许多有益的、宝贵的意见，在此一并致谢!
金刚石薄膜是一个大有发展前途的新型薄膜材料，它的发展历程还很短，在理论研究、技术开发、应用扩展方面还很不完善、不系统，还有待更多、更深、更广的研究，产业规模化还会有一段较长的路要走。但它的优异性能、广泛的应用前景必将吸引众多的科技工作者努力去研究开拓。
中国工程院院士、中国材料研究学会主席、我国知名的超导科学家周廉同志给予了我们热情支持和鼓励，并在百忙之中抽空为本书作序，在此我们表示衷心的感谢。
由于作者们的水平所限，阐述的内容中如有疏漏和不当之处，敬请广大读者批评指正。
戴达煌 周克崧
2000年12月于广州有色金属研究院...
等离子技术、激光束技术、电子束技术、微波等技术的最新成果与实用化，对金刚石薄膜成膜质量的提高和制备技术的发展起到了极大的新的推动作用，对加快金刚石薄膜产业化的进程和开拓广泛的应用提供了有力的技术支撑。
尽管金刚石薄膜取得了令人瞩目的进展，但仍然缺少有关全面概述金刚石薄膜制备技术的参考书，以供工程师和技术人员参考。本书收集了有关的国内外学者、科研人员的相关研究成果和我们近15年来在金刚石薄膜、类金刚石薄膜方面的研究进展与开拓应用的实例，希望能弥补这方面的不足。
本书从金刚石薄膜的优异性能和广泛的应用前景出发，阐述了各种金刚石薄膜的化学气相沉积制备方法、金刚石薄膜的非平衡热力学和金刚石薄膜生长的动力学因素，对大面积沉积金刚石薄膜的热丝装置和当今沉积速率最高的等离子射流装置与成膜工艺进行了较详尽的探讨。与此同时，对性能接近金刚石，产业化易实现，成本低廉，应用前景看好的类金刚石薄膜的性能、制备方法、应用等也进行了探讨。我们相信，作为21世纪新型功能薄膜材料的金刚石薄膜，随着研究工作与应用开拓的不断深入，在不远的将来，金刚石薄膜的功能必将在各个重要的领域，特别是高新技术领域中产生重要影响。..
全书的总体章节题目由戴达煌、周克崧提出总体设想，第1、2章由戴达煌、周克崧负责编著，第3、4章由戴达煌负责编著，第5章由代明江、周克崧负责编著，第6章由袁镇海、付志强、戴达煌负责编著，第7章由周克崧、戴达煌、王翔负责编著。全书由周克崧、戴达煌、王翔三人负
责审校，王翔负责校订、绘图等工作。
书中引用了一些国内外学者和科技工作者的论文与成果，在这里我们表示衷心的感谢。在编写过程中，编者们得到了广州有色金属研究院领导的关怀与帮助，同行的热情鼓励与支持，他们提供了不少参考资料和许多有益的、宝贵的意见，在此一并致谢!
金刚石薄膜是一个大有发展前途的新型薄膜材料，它的发展历程还很短，在理论研究、技术开发、应用扩展方面还很不完善、不系统，还有待更多、更深、更广的研究，产业规模化还会有一段较长的路要走。但它的优异性能、广泛的应用前景必将吸引众多的科技工作者努力去研究开拓。
中国工程院院士、中国材料研究学会主席、我国知名的超导科学家周廉同志给予了我们热情支持和鼓励，并在百忙之中抽空为本书作序，在此我们表示衷心的感谢。
由于作者们的水平所限，阐述的内容中如有疏漏和不当之处，敬请广大读者批评指正。
戴达煌 周克崧
2000年12月于广州有色金属研究院...
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