基本信息
内容简介
《清华大学微机电系统工程系列教材：微机电系统机械学》系统论述了微机电系统的力学原理基础及其规律，内容主要针对机械系统的特征尺度降低到微米和纳米量级时出现的主导作用力及各种微观效应。本书取材前沿，较全面地反映了微机电系统中的力学基础问题。
全书共6章，根据自2005年9月起在清华大学精密仪器与机械学系全国首次开设的“微机电系统工程”专业的专业基础课讲义改编而成。《清华大学微机电系统工程系列教材：微机电系统机械学》重点揭示了微机电系统的表界面效应、微尺度表面力的来源与作用规律、微构件在各种微尺度表面力作用下的变形、接触与运动规律，以及微纳米间隙和管道中的流体特性、驱动原理和流动规律，并结合典型的微机电系统阐述了应用实例。
经过多年的教学实践和科研积累，《清华大学微机电系统工程系列教材：微机电系统机械学》可以作为微机电系统工程及相关专业本科生或者研究生教材，也可以作为从事微机电系统设计开发的研究生和科研技术人员的参考书。
全书共6章，根据自2005年9月起在清华大学精密仪器与机械学系全国首次开设的“微机电系统工程”专业的专业基础课讲义改编而成。《清华大学微机电系统工程系列教材：微机电系统机械学》重点揭示了微机电系统的表界面效应、微尺度表面力的来源与作用规律、微构件在各种微尺度表面力作用下的变形、接触与运动规律，以及微纳米间隙和管道中的流体特性、驱动原理和流动规律，并结合典型的微机电系统阐述了应用实例。
经过多年的教学实践和科研积累，《清华大学微机电系统工程系列教材：微机电系统机械学》可以作为微机电系统工程及相关专业本科生或者研究生教材，也可以作为从事微机电系统设计开发的研究生和科研技术人员的参考书。
目录
0 引子
参考文献
1 微机电系统机械学问题概述
1.1 什么是微机电系统
1.2 为什么发展微机电系统
1.3 微尺度机械的微观效应简述
参考文献
2 微系统的表面与界面
2.1 固-液体的表面
2.1.1 表面的定义
2.1.2 固体表面
2.1.3 液体表面
2.2 固液界面与固液接触角
2.2.1 固液界面
2.2.2 固液接触角
2.2.3 接触线张力
2.3 粗糙表面的固液接触角
2.3.1 Wenzel模型与Cassie模型
参考文献
1 微机电系统机械学问题概述
1.1 什么是微机电系统
1.2 为什么发展微机电系统
1.3 微尺度机械的微观效应简述
参考文献
2 微系统的表面与界面
2.1 固-液体的表面
2.1.1 表面的定义
2.1.2 固体表面
2.1.3 液体表面
2.2 固液界面与固液接触角
2.2.1 固液界面
2.2.2 固液接触角
2.2.3 接触线张力
2.3 粗糙表面的固液接触角
2.3.1 Wenzel模型与Cassie模型
