微纳米测量技术

2.3.3微应力敏感电子装置32
2.3.4微压力传感器33
2.3.5压阻式压力传感器35
2.3.6电容式压力传感器38
2.3.7微应变传感器39
2.4速度和流量微传感器41
2.4.1基本原理41
2.4.2热敏电阻式微流量传感器42
2.4.3压阻式微型流量传感器44
2.4.4电容式微型流量传感器45
2.4.5谐振桥式微流量传感器47
2.5质量微传感器47
2.5.1基本原理47
2.5.2压电质量微传感器47
2.5.3SAWR微传感器48
2.6隧道效应式传感器49
2.6.1基本原理49
2.6.2隧道效应加速度计50
2.6.3隧道效应红外传感器51
2.6.4隧道效应式磁强计51
2.7光纤传感器52
2.7.1光纤结构及光导原理52
2.7.2光纤特性56
2.7.3光纤传感器原理及结构58
习题66
3微纳米测量技术的光学方法68
3.1自动调焦法68
3.1.1自动调焦原理68
3.1.2轮廓测量70
3.1.3三维形貌测量71
3.1.4自动调焦方法的应用72
3.2三角法测量原理及应用78
3.2.1点三角法传感器的基本结构及作用原理79
3.2.2三角法测量传感器中光源的选择81
3.2.3不同检测方案的比较81
3.2.4影响三角法测量精度的因素83
3.2.5点三角法传感器的典型特性85..
3.2.6三角法传感器的应用85
3.2.7激光光切法传感器89
3.2.8光切法传感器的光源和探测器90
3.2.9图像评价92
3.2.10光切法的应用93
3.3莫尔条纹法和投影条纹法94
3.3.1莫尔条纹法94
3.3.2阴影莫尔法98
3.3.3投影莫尔法99
3.4投影条纹法100
3.4.1作用原理100
3.4.2编码式光切法103
3.5光学显微测量技术107
3.5.1显微镜的工作原理107
3.5.2测量显微镜110
3.6光干涉测量技术111
3.6.1相移干涉测量技术111
3.6.2白光干涉测量技术114
3.6.3显微干涉测量技术115
3.7激光扫描显微测量技术118
3.7.1自聚焦激光扫描显微镜118
3.7.2共焦激光扫描显微镜119
3.8扫描电子显微镜技术121
3.8.1电子显微镜的工作原理121
3.8.2扫描电子显微镜123
3.8.3扫描电子显微镜的应用125
3.9原子力显微镜技术126
3.9.1原子力显微镜的工作模式127
3.9.2微悬臂形变检测方法128
3.9.3原子力显微镜的应用129
习题129
4典型物理量和MEMS系统特征参数的测量技术131
4.1MEMS器件几何结构特征参数测量131
4.1.1微米尺度的几何量测量132
4.1.2纳米尺度的几何量测量与纳米测量学140
4.2表面粗糙度与表面微观形貌测量146
4.2.1表面粗糙度与表面微观形貌的评价方法147
4.2.2表面粗糙度与表面微观形貌的测量方法156
4.3MEMS材料机械特性的测试169
4.3.1拉伸测试法170
4.3.2弯曲梁法179
4.3.3纳米压入法182
4.3.4鼓膜法184
4.3.5共振频率法186
4.4力、应力和应变的测量187
4.4.1MEMS结构中的应力和应变187
4.4.2应力、应变对MEMS结构的影响188
4.4.3MEMS结构中应力和应变的测量方法189
4.5微位移、速度、加速度和振动等微机械量的测量204
4.5.1计算机微视觉与频闪光照明技术在微机械量检测中的应用204
4.5.2干涉技术在微机械量检测中的应用206
4.5.3光纤技术在微机械量检测中的应用207
4.6声和超声等其他物理量的测量208
4.6.1声频的测量209
4.6.2声压测量技术212
4.6.3声强测量技术213
4.6.4其他声学参数测量技术216
4.6.5声学测量技术217
习题219参考文献221...