微机电系统机械学

2.3.3粗糙表面的接触角滞后——花瓣效应与荷叶效应
2.4弯液面的毛细作用
参考文献
3微纳尺度作用力
3.1微纳尺度基本力
3.1.1基本力
3.1.2电磁力与物质的组成和性质
3.1.3极性分子和偶极矩
3.1.4分子极化与极化强度
3.2分子之间的范德华力
3.2.1Keeson作用势
3.2.2Debye作用势
3.2.3色散力作用势
3.2.4Lennard-Jones势
3.3表面间的范德华作用力
3.3.1微观颗粒之间的范德华作用力
3.3.2介质中两个微粒子的范德华作用力
3.4表面间的静电力
3.5微间隙表面间的液桥力作用
3.5.1光滑表面之间的液桥力
3.5.2粗糙表面之间的液桥力
3.5.3表面间液桥力的实验研究
3.6微纳尺度作用力的测量
3.6.1表面力仪
3.6.2扫描隧道显微镜
3.6.3原子力显微镜
3.6.4原子力显微镜中的力曲线
参考文献
4MEMS微构件的变形与振动
4.1典型微构件的变形
4.1.1微梁构件的弯曲变形
4.1.2薄板构件的弯曲变形
4.1.3典型微构件的扭转变形
4.2典型微构件的单自由度振动
4.2.1振动方程的建立
4，2.2无阻尼和有阻尼自由振动
4.2.3无阻尼与有阻尼受迫振动
4.2.4加速度计的设计原理
4.2.5谐振式传感器
4.3典型微构件的多自由度振动
4，3.1两自由度振动
4.3.2连续膜的振动
4.4微器件的挤压膜阻尼
4.4.1挤压膜阻尼的基本方程与求解
4.4.2不可压缩气体的阻尼力系数
4.4.3可压缩气体介质的阻尼力系数
4.4.4挤压膜阻尼作用下的振动响应
参考文献
5微机械运动表面的接触、黏着与润滑
5.1典型微机械运动表面的摩擦学问题
5.2MEMS表界面的接触与黏着
5.2.1表层结构与表面性质
5.2.2表界面接触与弹性接触力学
5.2.3表界面黏着机理与黏着接触力学
5.2.4微构件的黏附失效
5.3微尺度运动界面的摩擦与黏滑
5.3.1Bowden-Tabor的简单黏着理论
5.3.2摩擦二项式定理
5.3.3微尺度运动表面间的黏滑
5.4微尺度的润滑与边界滑移
5.4.1微尺度润滑
5.4.2边界滑移下的流体润滑
5.5微构件表面的修饰改性与观测
5.5.1表面修饰与改性技术
5.5.2微构件表面观测技术
参考文献
6微尺度流动
6.1微尺度下的流体特性
6.1.1流体的性质与特征时间
6.1.2微尺度下受限液体与边界层特性
6.2微尺度流动的无量纲数
6.2.1Knudsen数
6.2.2雷诺数
6.2.3扩散系数
6.2.4混合数
6.2.5毛细数
6.2.6表面张力梯度与Marangoni数
6.3微流体的压力驱动
6.3.17白肃叶流和流阻
6.3.2固-液边界滑移下的流阻
6.3.3微管道中气泡造成的流阻
6.4电渗和电泳——双电层原理
6.4.1双电层的原理及模型——Stern模型
6.4.2电渗与电泳
6.5微液滴的驱动与操纵
6.5.1微液滴的热驱动
6.5.2电浸润
参考文献
附录A实验内容与安排
实验A.1验证拉普拉斯(Laplace)压力方程的气球实验
实验A.2表面张力测定实验
实验A.3MEMS分析软件的应用
实验A.4原子力显微镜(AFM)测试微观形貌
附录B试卷样题
后记