基本信息
内容简介
《微机电系统机械学》共6章,根据自2005年9月起在清华大学精密仪器与机械学系全国首次开设的“微机电系统工程”专业的专业基础课讲义改编而成。本书重点揭示了微机电系统的表界面效应、微尺度表面力的来源与作用规律、微构件在各种微尺度表面力作用下的变形、接触与运动规律,以及微纳米间隙和管道中的流体特性、驱动原理和流动规律,并结合典型的微机电系统阐述了应用实例。
经过多年的教学实践和科研积累,《微机电系统机械学》可以作为微机电系统工程及相关专业本科生或者研究生教材,也可以作为从事微机电系统设计开发的研究生和科研技术人员的参考书。
目录
0引子
参考文献
1微机电系统机械学问题概述
1.1什么是微机电系统
1.2为什么发展微机电系统
1.3微尺度机械的微观效应简述
参考文献
2微系统的表面与界面
2.1固-液体的表面
2.1.1表面的定义
2.1.2固体表面
2.1.3液体表面
2.2固-液界面与固-液接触角
2.2.1固-液界面
2.2.2固-液接触角
2.2.3接触线张力
2.3粗糙表面的固-液接触角
2.3.1Wenzel模型与Cassie模型
2.3.2固体表面的微纳结构与亲疏水性质